蒸發(fā)臺(tái)行星鍋通常指的是電子束蒸發(fā)臺(tái)的高產(chǎn)行星鍍鍋裝置，屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。其作用是在蒸鍍過程中，通過行星鍋的轉(zhuǎn)動(dòng)，使基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質(zhì)的沉積，從而提高蒸鍍的均勻性和質(zhì)量。
在半導(dǎo)體制造中，蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的主要作用是將蒸發(fā)物質(zhì)均勻地分布到基材表面。蒸發(fā)物質(zhì)可以是金屬、半導(dǎo)體或其他材料，通過加熱蒸發(fā)或電子束蒸發(fā)等方式產(chǎn)生蒸汽，然后蒸汽在行星鍋內(nèi)旋轉(zhuǎn)，使得基材表面能夠均勻地接觸到蒸發(fā)物質(zhì)，從而形成薄膜。
蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的工作原理是： 蒸發(fā)物質(zhì)被放置在蒸發(fā)源中，通過加熱或電子束轟擊等方式使其蒸發(fā)成為蒸汽。蒸發(fā)的蒸汽被引入到蒸發(fā)臺(tái)行星鍋中，并在其中與基片接觸。在蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的轉(zhuǎn)動(dòng)下，基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質(zhì)的沉積，從而提高蒸鍍的均勻性和質(zhì)量。蒸鍍完成后，蒸發(fā)物質(zhì)和剩余的蒸汽被抽走，基片被取出進(jìn)行后續(xù)處理。
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